德国开姆尼茨工业大学研究员Nicole Koehler做客北洋微电讲堂

本站讯（通讯员：宋航）2019年4月9日下午，第十六期“北洋微电讲堂”于26楼D区212会议室顺利开讲，本期讲堂由天津大学微电子学院举办。德国开姆尼茨工业大学研究员Nicole Koehler女士为参会者带来了题为《Research in Advanced ULSI Interconnects》的学术报告。报告由微电子学院肖夏教授主持。

报告开始，Nicole Koehler女士简要介绍了德国开姆尼茨工业大学以及弗劳恩霍夫电子微纳系统研究所，并介绍其所在单位的研究方向，如微系统、智能系统、传感器系统、智慧医疗、微电子与纳米电子等。之后对Low k材料刻蚀损伤的修复进行了详细介绍，其中着重讲解了等离子体增强的OMCTS对于刻蚀损伤修复的工作原理、设计方法以及实验结果。在交流环节中，Nicole Koehler女士与在场的老师和同学就low k材料及互连布线等问题进行了深入的探讨，同学们亦踊跃提问，并得到了Nicole Koehler女士认真的解答和赞赏。

论坛结束后，肖夏教授对Nicole Koehler女士带来的精彩报告表示感谢，并为其赠送纪念牌。